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簡要描述:熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計,采用定制的高速比例控制閥,可快速精確測量高溫氣體的質(zhì)量流量,可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值,精度0.5%FS。
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一、熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計 產(chǎn)品概述:
u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量
u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制
u 超大可觸顯示屏,操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊
u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件,通過抗振動測試,對安裝方向不敏感
u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流技術(shù),使得較大流量范圍下的高溫氣體仍舊保持層流運(yùn)動
u 可提供用戶支持,包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
-- 已廣泛應(yīng)用于眾多行業(yè)領(lǐng)域,如:工藝制造、沉積設(shè)備、配氣制氣等使用高溫干燥氣體的場景。
-- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比,使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器或流量計便可取代多臺設(shè)備的功效。
-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間,確保按工藝要求使高溫的過程氣體可以流暢的工作。
三、熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計 技術(shù)參數(shù):
技 術(shù) 指 標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量計 | |
量程范圍 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) | ±0.5%F·S(滿量程) | ||
重復(fù)精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /測量范圍 | 2%~100%F·S/50:1 | 1%~100%F·S/100:1 | |
工作溫度 | 過流部分:(90~150℃),控制部分:0~70℃ | ||
漏率 | <2×10-9 Pa m3/S | ||
機(jī) 械 部 件 | 最大工作壓力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材質(zhì) | 氟橡膠、全氟醚、金屬密封 | ||
防護(hù)等級 | IP40 | ||
底座材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
氣路接頭 | φ6,φ8,φ10,φ12,卡套、VCR等 | ||
電 氣 性 能 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示實(shí)時流量、設(shè)定流量 | |
數(shù)字通訊 | 可選:RS232/485,Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議 | ||
模擬輸入輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
電信號接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
供電電壓 | ±15VDC,24VDC |
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