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簡要描述:模擬信號模擬量的質(zhì)量流量控制器可PLC控制 的MFC:◆熱式原理,響應(yīng)快,精度高◆管狀分流,不易堵塞◆適用于各種低壓和高壓管道◆預(yù)熱時間短,零漂小,可靠性高◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量ACU10FAL 質(zhì)量流量控制器由流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
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一、模擬信號模擬量的質(zhì)量流量控制器可PLC控制 的MFC 產(chǎn)品概述:
◆熱式原理,響應(yīng)快,精度高
◆管狀分流,不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預(yù)熱時間短,零漂小,可靠性高
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
ACU10FA-LH 質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
ACU10FA-LH 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的電壓進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、模擬信號模擬量的質(zhì)量流量控制器可PLC控制 的MFC 產(chǎn)品參數(shù):
(下述僅為列舉參數(shù),如有不同需求請另行咨詢。)
量程范圍 | 5SCCM ~300SLM |
準確度 | ±1.0%F.S |
溫度:±1℃ | |
線性 | ±0.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | <1.5s |
模擬量 | 0~5V,4~20mA |
供電 | ±15VDC,24VDC |
工作溫度 | 0~50℃ |
工作壓力 | 工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
電氣連接 | DB9孔 |
漏率 | 1×10-9SCCSHe |
溫度系數(shù) | ±0.015%F.S/℃ |
底座材質(zhì) | 不銹鋼 |
密封材質(zhì) | 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠 |
接頭 | φ8,φ10,φ12 |
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