當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 數(shù)控電子壓力控制器EPC > 雙閥壓力控制器 > ACU20PCD-LH泄露檢測及氣密檢測壓力控制器EPCD
簡要描述:泄露檢測及氣密檢測壓力控制器EPCD:-- 集成兩個(gè)電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。
產(chǎn)品分類
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一、泄露檢測及氣密檢測壓力控制器EPCD 產(chǎn)品概述:
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個(gè)電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號(hào),還提供模擬量輸入/出信號(hào),可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程。同時(shí),可觸控顯示屏使操作更加便捷。
-- ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、泄露檢測及氣密檢測壓力控制器EPCD 產(chǎn)品參數(shù):(如所需參數(shù)與下述性能參數(shù)不同,請溝通定制。)
技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ≤±0.5%F.S | ||||
壓力量程比 | 1:100 | |||||
重復(fù)性 | ≤0.1% | |||||
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | 0.2s | |||||
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2) | |||||
運(yùn)行溫度 | -10~+70℃ | |||||
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | |||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | |||||
方位影響度 (90°變化) | <0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器) | |||||
<0.6 KPa(差壓傳感器) | ||||||
預(yù)熱時(shí)間 | 忽略不計(jì) | |||||
機(jī)械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | ||||
工藝連接 | G3/8" | |||||
密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | |||||
防護(hù)等級(jí)(外殼) | IP40 | |||||
電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | ||||
數(shù)字輸出 | RS485/RS232 MODBUS協(xié)議 等 | |||||
電氣連接 | DB9 |
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