當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 氣體 質(zhì)量流量計/控制器 > 層流差壓 質(zhì)量流量控制器 > ACU20FC-LH層流差壓式質(zhì)量流量計/流量控制器MFC
簡要描述:層流差壓式質(zhì)量流量計/流量控制器MFC:-- ACU20FC采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。-- 當(dāng)需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 -- 與熱式流量計不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時,ACU20FC沒有附加的“比熱容"誤差 。所以,即使測量氣體與出廠時的標(biāo)定氣體不同,也不會影響測量精度。
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一、ACU20FC 層流差壓式質(zhì)量流量計/流量控制器MFC 產(chǎn)品概述:
1、準(zhǔn)確度±0.5%F.S,量程可在100:1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定,無需標(biāo)定。
2、無需預(yù)熱,測量時無響應(yīng)滯后。
3、采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。
4、當(dāng)需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。
二、ACU20FC 層流差壓式質(zhì)量流量計/流量控制器MFC 產(chǎn)品參數(shù):
(如所需參數(shù)性能與下述不符,請溝通定制)
技術(shù)指標(biāo) | 高精度質(zhì)量流量控制器 | 高精度質(zhì)量流量計 | |
量程范圍 | 2SCCM~4000SLM | ||
測控范圍 | 控制器閥控范圍50:1 | 流量計量程比100:1 | |
準(zhǔn)確度 | ±0.5%F.S(滿量程) | ||
線性 | ±0.5%F.S | ||
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | ||
穩(wěn)定性 | <±0.1%FS | ||
響應(yīng)時間 | <0.2s | <0.1s | |
溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作溫度 | 10~50℃ | ||
預(yù)熱時間 | 30S可用,5Min達到最佳狀態(tài) | ||
工作壓力 | 工作壓差:0.1~0.5Mpa | 工作壓降<0.01Mpa | |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe | ||
機械部件 | 底座材質(zhì) | 不銹鋼 | |
接頭 | φ6,φ8,φ10,1/2"...快插、卡套、法蘭安裝等 | ||
密封材質(zhì) | 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,乙丙橡膠等 | ||
外殼防護等級 | IP40 | ||
安裝位置 | 水平安裝、垂直(下進上出) | ||
電氣性能 | 單色LED顯示屏 | 同時顯示流量、設(shè)定 | |
電氣連接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
顯示狀態(tài) | 帶液晶顯示、不帶液晶顯示 | ||
數(shù)字量 | RS232/485,MODBUS等協(xié)議 | ||
模擬量 | 0~5V、4-20mA、1-5V | ||
供電 | ±15VDC,24VDC |
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