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簡要描述:高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM:◆精度更高,響應更快,帶網口;◆管狀分流,不易堵塞;◆適用于各種低壓和高壓管道;◆預熱時間短,零漂小,可靠性高;◆可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量;◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;
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一、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品概述:
◆精度更高,響應更快,帶網口;
◆管狀分流,不易堵塞;
◆適用于各種低壓和高壓管道;
◆預熱時間短,零漂小,可靠性高;
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量;
◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;
二、產品應用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品參數:
滿量程范圍:2SCCM~6000SLM
準 確 度:±0.5%F.S
線 性:±0.5%F.S
重復精度:±0.2%F.S
響應時間:流量計:<0.1s;流量控制器:<0.2s
數 字 量:RS232/485,MODBUS等協(xié)議
模 擬 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 電:±15VDC,24VDC,220V(轉接)
工作溫度:0~60℃
工作壓降:<0.01Mpa(流量計)
工作壓差:0.002~0.5Mpa (流量控制器)
耐 壓:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
溫度系數:±0.025%F.S/℃
底座材質:不銹鋼
密封材質:氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,F(xiàn)FKM/FFPM等
接 頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2",1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同,請溝通定制。
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