托爾級壓力控制器為直通式設(shè)計,測量范圍從100Pa到20MPA(絕壓和表壓皆可)。該儀表精確度高、重復性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。
目前,托爾壓力控制器標配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該EPC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標準的RS485輸出信號,它還提供模擬量輸入/出信號,可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準的控制整個工藝過程。壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
它的日常應(yīng)用:
可廣泛應(yīng)用于半導體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護控制,高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。
托爾壓力控制器的使用特點:
1、測量范圍從10Pa到20MPA(絕壓和表壓皆可);
2、精確度高、重復性好,分為前壓控制和背壓控制兩種;
3、標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制;
4、該基本數(shù)字EPC具有測量和控制所需的所有基本功能;
5、除了配備標準的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號;
6、可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。