智能數(shù)顯壓力控制器是專為現(xiàn)場實(shí)時(shí)顯示壓力值并控制的智能化儀表;工業(yè)級(jí)產(chǎn)品設(shè)計(jì),高品質(zhì)壓力傳感器芯片和電子元器件;具有抗干擾,操作簡單等特點(diǎn)。
一、它的技術(shù)特點(diǎn):
1、動(dòng)態(tài)適時(shí)控制壓力,與傳統(tǒng)壓力控制器、穩(wěn)壓器相比,此系列智能數(shù)字壓力控制器可自動(dòng)控制氣體流量,精準(zhǔn)控制、保持固定壓力值,不存在繼電器控制式的響應(yīng)區(qū)間。
2、控制精度比傳統(tǒng)的機(jī)械式開關(guān)高,無噪音;
3、耐震、抗干擾強(qiáng)、響應(yīng)快,性能穩(wěn)定。
二、技術(shù)原理:
壓力傳感器是處于硅芯片表面的壓敏電阻橋。該芯片從其背面鉆出,給芯片內(nèi)部形成壓力隔膜,其厚度決定壓力范圍。
當(dāng)壓力作用于芯片時(shí),壓膜彎曲,電阻橋的電阻值與壓力成比例地變化。測量元件通過超薄靈敏的不銹鋼隔膜與外部壓力隔開,隔膜和測量元件之間的密封腔充滿了油。
三、相關(guān)應(yīng)用:
應(yīng)用范圍較廣泛,例如,半導(dǎo)體工藝、氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制,高壓釜、反應(yīng)釜,氣密檢漏裝置等。
目前,MKS,Horiba,Alicat,Bronkhorst等進(jìn)口品牌有此類產(chǎn)品,我司在國產(chǎn)化此類壓力控制方面已經(jīng)積累了大量的實(shí)用經(jīng)驗(yàn),產(chǎn)品性能基本可以與進(jìn)口產(chǎn)品媲美。