自動(dòng)調(diào)壓式壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器屬過程控制儀表,常用于半導(dǎo)體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制,氣密性泄露檢測(cè),高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。例如,在MOCVD或CVD工藝中,當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí),管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定,可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的安全造成威脅,這時(shí)可由自動(dòng)調(diào)壓式壓力控制器通過快速響應(yīng),高精度、穩(wěn)定控制來調(diào)整管路的壓力。
北京精量科技(ACCUFlow)可提供多種壓力控制器的定制方案(ACU20P系列產(chǎn)品),確保適用于流動(dòng)、密閉容器或真空等應(yīng)用。ACU20P系列數(shù)字電子壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器(EPC)可裝配一體式或分體式控制閥,它是一種比例式電磁控制閥,具有快速和平穩(wěn)控制的特性。并有不同系列的控制閥對(duì)應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域:常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速的應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,穩(wěn)壓和泄壓的應(yīng)用場(chǎng)景使用雙閥。
ACU20PC系列流動(dòng)過程壓力控制器是單閥壓力控制器,用于快速控制流動(dòng)過程的壓力,采用了直通式設(shè)計(jì),測(cè)量范圍從20Pa到20MPA(絕壓和表壓皆可)。此外,還提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。
ACU20PC系列標(biāo)配一個(gè)壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測(cè)量和控制。
ACU20PC-C系列屬差壓壓力控制器,采用單個(gè)閥門維持其兩個(gè)測(cè)量端口之間的恒定差壓,其流道與差壓壓力傳感器的兩個(gè)端口被隔離開,可保持其兩個(gè)測(cè)量端口之間的差壓的恒定。
ACU20PCD是雙閥壓力控制器 適用于密閉容器,無需使用排氣閥便能實(shí)現(xiàn)密閉或者端閉容器內(nèi)的壓力控制。此雙閥壓力控制器,集成了兩個(gè)電磁閥控制密閉空間的差壓,兩個(gè)壓力測(cè)量端口均與流道隔離,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)也可避免氣體浪費(fèi)。
ACU20PCD標(biāo)配壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,同時(shí)帶有可觸控顯示屏,使操作更加便捷。
另外,北京精量科技(ACCUFlow)的上述壓力控制器/壓力調(diào)節(jié)器產(chǎn)品可選配多種通訊協(xié)議,主要包括RS232/485 Modbus,DeviceNet,PROFIBUS DP,FLOW-BUS、EtherCAT、FF現(xiàn)場(chǎng)總線等協(xié)議,也可按客戶需求定制協(xié)議,保證與某些特定行業(yè)常用協(xié)議或進(jìn)口配套設(shè)備之間的無障礙通訊。
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